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spin coater勻膠機

簡要描述:spin coater勻膠機既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-02-27
  • 訪  問  量:4891

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spin coater勻膠機

勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機,在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
產(chǎn)地:韓國MIDAS公司,
型號:SPIN-1200


勻膠機通用參數(shù):
旋轉(zhuǎn)襯底最大尺寸:4"、6"、8"、12"、550mm;
按客戶需求提供整體解決方案,可以旋涂最小3mm, 最大1000mm襯底;
從手動到全自動溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大;
無振動轉(zhuǎn)速最高8000rpm;
真空吸附,無污染;
臺式勻膠機,占用空間??;
具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩,并且勻膠機主機易清洗;
聚四氟乙烯(PTFE)的勻膠機可用于強腐蝕性化學(xué)材料;
便于程序操作的全尺寸鍵盤,甚至帶著手套都可以方便使用;
可以準(zhǔn)確重復(fù)運行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng);
高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序。


spin coater勻膠機應(yīng)用范圍:
可用于光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機溶液、水溶液;

全自動的勻膠及顯影工藝必需的全自動Chip生產(chǎn)設(shè)備:



 

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