開爾文探針掃描提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級納米技術(shù)研究，其與標(biāo)準(zhǔn)型號顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時，探針電流提高了10倍。

　　探針掃描廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實(shí)時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。

　　探針掃描具有完整高效的檢測系統(tǒng)、高的分辨率以及簡便的操作方式，物鏡設(shè)計將靜電場與磁場結(jié)合，可提升光學(xué)性能的同時將場發(fā)射對樣品的損傷降低，此設(shè)計確保了成像質(zhì)量，即使是較具挑戰(zhàn)性的磁性材料也同樣可以達(dá)到良好的成像效果。

　　開爾文探針掃描通過二次電子和背散射電子的檢測也使得高效率的信號探測成為可能，探測器安裝在光軸上，可以減少調(diào)整時間，可降低成像時間。電子束加速器技術(shù)確保了小的探針尺寸和高的信噪比，以達(dá)到低的加速電壓。