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深能級瞬態(tài)譜儀具有安全便捷的優(yōu)點(diǎn)

更新時(shí)間:2020-07-10      點(diǎn)擊次數(shù):1166
  深能級瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要儀器。根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有高檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導(dǎo)體材料中摻雜濟(jì)濃度的萬分之一)的實(shí)驗(yàn)方法,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。
  通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析,可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布。深能級瞬態(tài)譜儀集成多種自動的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析,可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布,也可用于光伏太陽能電池領(lǐng)域中。
  該儀器測量界面態(tài)速度快,精度高,是生產(chǎn)和科研中可廣泛應(yīng)用的測試技術(shù),自動連線檢測,自動電容補(bǔ)償功能,探測靈敏度高,瞬態(tài)電流測量,深能級瞬態(tài)譜分析,可調(diào)的混合比例,1:1到1:100。
  隨著電腦技術(shù)的發(fā)展,使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能,在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上,用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程,如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS(等溫瞬態(tài)光譜)信號重疊法、溫度掃描信號重疊法(重折疊)。
  深能級瞬態(tài)譜儀可更換SFM附件,應(yīng)用于:化學(xué)淬滅,光學(xué)淬滅以及光學(xué)延時(shí),冷凍淬滅,X-射線散射停流,中子色散停流,EPR停流,低溫停流,自動滴定,停流電導(dǎo),快速混合溫度突變系統(tǒng),微重力實(shí)驗(yàn)研究等。
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